Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии
Сигов А. С., Иванов В. И., Лучников П. А., Суржиков А. П., Под ред. Сигова А.С.
В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) — электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств» и «Электронные приборы», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
年:
2020
言語:
russian
ファイル:
PDF, 19.18 MB
IPFS:
,
russian, 2020